ČSN EN 62047-22 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech
- Norma: ČSN EN 62047-22 (358775)
- Název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech
- Kategorie: 3587 - Polovodičové součástky
- Katalogový kód:97101
- Dostupnost:Tisk
- Váha (gr):100
- Třídící znak:358775
- Platnost:Norma je platná
- Vydání:04/2015
- Účinnost:05/2015 - doposud
- Jazyk:Část nebo celá norma je v angličtině.
ČSN EN 62047-22 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech Norma Kat. číslo: 97101
Anotace textu normy ČSN EN 62047-22 (358775)
Tato norma stanovuje metodu pro zkoušku tahem pro měření elektromechanických vlastností materiálů vodivých tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS), které jsou upevněny na nevodivé pružné substráty. Vodivé tenkovrstvé struktury na pružných substrátech jsou ve velké míře používány pro MEMS, spotřební výrobky a v oblasti pružné elektroniky. Elektrické chování vrstev na pružných substrátech je odlišné od vlastností samonosných vrstev a substrátů v důsledku mezivrstvového působení. Rozdílné kombinace pružných substrátů a tenkých vrstev mají často různé vlivy na výsledky zkoušek a na mezivrstvovou adhezi. Požadovaná tloušťka tenkých MEMS materiálů je 50krát menší než je tloušťka pružného substrátu, zatímco všechny ostatní rozměry jsou navzájem podobné.
Zdroj: Česká Agentura pro Standardizaci (www.agentura-cas.cz) - smluvní partner
GPSR - Výrobce/Distributor:
TECHNOR print, s.r.o., K Sokolovně 439/11, Hradec Králové 503 41
IČ: 06655327, e-mail: technor@technor.cz
Bezpečnostní informace k produktu: Technické normy ČSN
Náhled obsahu normy dočadně není k dispozici.