ČSN EN 62047-12   (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS

Anotace textu normy ČSN EN 62047-12   (358775)

Tato norma definuje metodu pro zkoušení ohybové únavy, která používá rezonanční vibrace struktur MEMS (mikroelektromechanických systémů) a mikrostrojů. Tato norma je určena pro vibrující struktury, které mají rozměry od 10 µm do 1 000 µm v rovinném směru a tloušťku 1 µm až 100 µm a zkušební materiály pod 1mm délky, 1mm šířky a 0,1 µm až 10 µm tloušťky.

Hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje atd. mají speciální vlastnosti, mezi které patří typické rozměry v rozsahu několika mikrometrů, speciální metoda nanášení, opracování nemechanickými metodami včetně fotolitografie. MEMS systémy mají často vyšší rezonanční kmitočet a vyšší pevnost než makrostruktury. Pro zjištění a zkoumání zaručené životnosti musí být použito namáhání ultravysokou cyklickou únavou (nad 1012 cyklů). Předmětem zkušební metody je zkoumání únavy při mechanickém namáhání u materiálů mikrorozměrů za použití vibrací aplikovaných v krátké době, při vysokém kmitočtu a vysokém zatížení resonátoru při ohybu.